Funkcia a využitie: | Predmetom zákazky je rozšírenie a doplnenie zariadenia o dvojitú rotujúcu a o 2 ks jednovrstvových planárnych katód, ktoré umožnia aplikáciu funkčnej vrstvy pomocou fyzikálneho procesu sprejového naprašovania využitím magnetrónu. |
Technická špecifikácia: | "Dvojitá rotujúca katóda – typ DRC (double rotating cathode) Dve jednovrstvové planárne katódy – typ SPC (single planar cathode)" |
Model: | ACG Plasma Technology solution |
Umiestnenie prístroja: | FunGlass |
Zodpovedný pracovník: | Kamalan Mosas: kamalan.mosas@tnuni.sk |
Hradené z projektu: | CEDITEK II. |
Operátori: |