Termoemisný elektrónový rastrovací mikroskop s EDX analyzátorom
| Funkcia a využitie: | Termoemisný rastrovací elektrónový mikroskop na báze volfrámovej katódy. Prístroj umožňuje prácu vo vysokom vákuu v režime sekundárnych elektrónov SE (hodnotenie topografie povrchu vzorky) a spätne odrazených elektrónov BSE (informácia o materiálových rozdieloch povrchu vzorky). Taktiež je možnosť hodnotiť topografiu povrchu vzorky aj v nízkom vákuu vďaka zabudovanému LVSTD detektoru. Okrem topografie a materiálového kontrastu je možné analyzovať aj chemické zloženie skúmanej vzorky prostredníctvom EDX detektora. Hodnotenie vzorky je realizované v piatich módoch (Resolution, Depth, Field, Wide field, Channeling mode) podľa výberu obsluhy prístroja. Software umožňuje získanie obrazu z SE a BSE detektorov individuálne alebo ich zmiešanín. Ustavenie vzorky v komore je zabezpečené prostredníctvom motorizovaného stolčeka s odčítaním polohy. Komora je vybavená kamerou na pozorovanie jej vnútra. |
| Technická špecifikácia: |
• Volfrámová termoemisná katóda. • Rozlíšenie 3 nm pri 30 kV v režime vysokého vákua. • Zorné pole 40 mm dosiahnuteľné pomocou technológie Wide Field Optics. • Urýchľujúce napätie v rozsahu 200 V až 30 kV, nastaviteľné spojité. • Zväzkový prúd 1 pA až 2 µA. Vákuový systém: • Výkonná turbomolekulárna výveva bez vodného chladenia, predvákuum na báze rotačnej olejovej vývevy. • Vysoké vákuum 9 x 10-3 Pa, nízke vákuum delené na podrozsahy: 3 až 150 Pa a 3 až 500 Pa. • Zavzdušňovanie komory suchým plynom bez obsahu kyslíka (technický dusík). • Držiak vzoriek - minimálny rozsah pohybu: v osi X: 35 mm, Y: 35 mm, Z: 27 mm, náklon 90°. • Detektor sekundárnych elektrónov (SE) na báze Everhart-Thornley (YAG kryštál). • Vysúvateľný kruhový detektor odrazených elektrónov - YAG kryštál s fotonásobičom, rozlíšenie atómového čísla 0,1. • IČ TV kamera pre pozorovanie komory počas navádzania vzorky pod vákuom. • Technológia SSD - termoelektrické chladenie bez nutnosti chladenia dusíkom. • Analýza vzorky: v bode, pozdĺž čiary a na ploche, mapovanie, kvantitatívna analýza. • Meranie rozmerov častíc, meranie uhlov, plôch, kružníc a pod. • Nástroje na spracovanie obrazu - základné korekcie: kontrast, jas, ostrosť a pod. • Možnosť 3D zobrazenia anaglyfického pohľadu na reálnu topografiu vzorky v reálnom čase, pozorovanie v režime SE. |
| Model: | Mikroskop: VEGA 3; TESCAN EDX analyzátor: x-act; Oxford Instruments |
| Umiestnenie prístroja: | FPT TnUAD, Púchov |
| Zodpovedný pracovník | Meno: Ing. Andrej Dubec, PhD. e-mail: andrej.dubec@tnuni.sk tel.č.: +421 42 2851 856 |
| Operátori | Ing. Andrej Dubec, PhD., Ing. Iveta Papučová, PhD. |
